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參數(shù):
主機規(guī)格:305mm×365mm×325mm(W×D×H)
靶(上部電極):金:50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(標配),也可根據(jù)實際情況配備銀靶、鉑靶等
樣品室:硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸:Ф50mm
真空指示表:最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
離子電流表:最大電流:50mA
定時器:最長時間:3600s
可通入氣體:多種
最高電壓:-1600 DCV
輸入電壓:220V(可做110V),50HZ
1230SHOP新推主營產(chǎn)品--ABB/JOKA
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