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參數(shù)：
1.主機規(guī)格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）
2.靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）
3.靶材：Au（標配）
4.樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）
5.靶材尺寸：Ф50mm
6.真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
7.離子電流表： 最大電流：50mA
8.定時器：最長時間：1-360s
10.可通入氣體： 多種
11.最高電壓： -2800 DCV
12.機械泵：標準配置2L/S（國產(chǎn)VRD-8）
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