







普通會(huì)員
參數(shù):
儀器尺寸:主機(jī)300mm×360mm×380mm(W×D×H)
蒸鍍 300mm×360mm×160mm(W×D×H)
真空樣品室:硼硅酸鹽玻璃160mm×110mm(D×H)
靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H)
濺射靶材:Au
濺射靶材大小:φ50mm
樣品臺(tái):樣品臺(tái)尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺(tái),樣品臺(tái)可調(diào)節(jié)高度。也可根據(jù)自身要求定制樣品臺(tái)
濺射工作電壓:0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流:0-50mA
濺射定時(shí):0-360S
蒸碳電流0-100A(AC)
蒸發(fā)材料:碳纖維
蒸發(fā)工作電壓:0-30V
蒸發(fā)時(shí)間:0-1S微型真空氣閥:可連接φ3Mm軟管
可通入氣體:多種
輸入電壓:220V(可做110V),50HZ
真空泵:2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵(國(guó)產(chǎn)VRD-8)
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