參數：

主機規(guī)格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標配）也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等。

樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

樣品臺尺寸：可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，也可根據自身要求定樣品臺

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

離子電流表：最大電流：50mA

定時器：最長時間：0-360S

微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體：多種

最高電壓：-1600 DCV

機械泵：標準配置2L/S（國產VRD-8）

輸入電壓：220V(可做110V),50HZ